超音波清洗機超音波電源的聲跟蹤方法有較大電流搜索諧振頻率法，它的原理是：當超音波換能器在諧振頻率狀態下時，其阻抗較小、電源輸出電流較大，人們通過采集換能器回路較大電流，就能通過對比得出電流對應的諧振頻率。不過這種方法受到頻率跟蹤速度慢和掃頻周期的約束，啟動需花費較長時間。

超音波清洗機超音波電源的電跟蹤法有匹配電感調節法和鎖相法兩種。匹配電感調節法的運用前提是電源輸出頻率不變，它可以通過調整回路匹配電感傳感器的大小來調整電源輸出電壓、電流的相位差，達到變頻器電路諧振、控制精度低的目的。一般準確度要求較高的超音波清洗機不會采用這種跟蹤控方法，只是將其作為輔助。鎖相控制法的基本原理是通過同步鎖定兩個周期信號的相位來準確控制頻率。從本質上講，它是一個控制相位的系統，稱為鎖相環。由于鎖相法具有誤差小、抗干擾性強、穩定性強的優點，所以成為了跟蹤控制超音波電源的主流方法，被廣泛運用于各種超音波清洗機中。